X荧光光谱仪(1)荧光元素分析受限于标样难以制备或试样的均匀性，多数只能做为一种品质的管控方法，准确度相对化学分析较低。 (2)素分析中的检量线法就是以标准物质为基础进行标准曲线分析，如果实际样品和标准物质不一致，那么分析结果肯定也不会很准确，只能做参考。 (3)用基本参数法测试金属时，果测试样品里含有 C、H、O 等轻元素，会出现误差，因为仪器无法识别这些元素。
X荧光光谱仪皮革鞣制中经常会加入铬鞣剂，因铬盐能赋予成革柔软、丰满、高强度、耐储存、耐水洗、不易褪鞣、耐湿热稳定性好等优良性能。但 Cr6+对人体与自然环境有害，需要被管控。是否可以由 X 射线荧光分析得出 Cr6+含量呢，由荧光分析原理可知，X 射线荧光分析仪是基于不同元素的荧光射线能量不同，元素价态对其影响小，普通的分析仪不可区分价态，其所测 Cr 为总铬，包含各个价态，因此，精分析需要借助于化学方法。
X荧光光谱仪(1) 要分清楚关注的对象，荧光分析仪较常见的两类为膜厚仪与元素分析仪，其针对的目标不同。如测厚度一般可以采用薄膜 FP 法或薄膜检量线法,测元素则用块体 FP 法与块体检量线法。