真空值是荧光光谱仪一个重要的参数，如果真空值下降过快就证明仪器出现了故障。操作人员可以通过看真空值曲线是否平缓，不平缓的话，就是漏气的地方。可以通过检查真空室真空盖密封性，更换密封圈来解决故障。
死机程序错误 一般刚开始使用的荧光光谱仪如果出现这类问题的话，极有可能是通讯线接触不良。新仪器电脑出现死机，程序错误、黑屏、分析软件的START状态不对，都有可能是通讯线接触不良造成的解决的方法也很简单，只需要将此为通讯线接触不良，重新连接即可。
若发现是荧光光谱仪硬件损坏，应请维修工程师来现场处理，若无法查出故障原因，也应及早与维修工程师沟通，及时传递仪器的故障信息，以便工程师来现场维修之前能大概判定故障原因并准备好所需的备品备件。