Edwards真空分子泵每次停机后,必须清洗每个分子泵的入口,以保持其清洁,以避免不必要的损坏。
当Edwards真空分子泵未启动时,检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时,必须根据故障提示进行处理。
Edwards真空分子泵不能在大气中打开,必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵