分子真空泵启动1、启动条件:连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度2、启动时间同时启动—小系统,防前级泵油上返延迟启动—系统容积过大,先启动前级泵,至系统压强P=200Pa,启动分子泵。
分子真空泵长时间启动仍达不到额定转速或停转原因:1、系统有漏2、前级压强过高3、转向有误4、润滑油失效5、轴承损坏
分子真空泵真空度低1、前级漏气2、前级泵太小3、高真空漏4、规管出气量大5、前几真空泵工作不正常