分子泵的维护方法有哪些？

轴承、减震维护 随着分子泵使用时间延长，分子泵轴承在高速运转中受到的磨损越来越严重，减震系统的减震能力越来越差，到一定程度后必须进行更换，否则可能出现更大程度的损坏。

常规运行中，分子泵一年内运行时间少于4000小时的，一年更换一次；一年内运行时间多于4000小时的，每运行4000小时必须换油一次。

分子泵如果污染严重，则必须完全拆开，由*业技术人员处理。严禁未经培训和真空性能下降很多，甚至长时间烘烤也不能恢复其真空性能。这时应对泵进行清洗。