分子泵启动时间增长或无法达到正常转速。判断标准：分子泵的振动突然增大，声音出现异常；分子泵启动时间增长或无法达到正常转速。
分子泵使用一定时间后，在系统漏率和系统卫生没有变化的情况下，真空性能下真空性能下降很多，甚至长时间烘烤也不能恢复其真空性能。这时应对泵进行清洗。
注意！！ 装油池时，要注意对称上紧，避免漏气。 分子泵润滑油采用不易裂变的低饱和蒸汽压的*用分子泵润滑油，不得用其他油品代替。润滑油应洁净，严禁污物、杂质和尘埃落入。必要时应对润滑油进行过滤。
