当爱德华分子泵维修M2(方框2)或M7的真空度始终没有到位时,请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。
当爱德华分子泵维修未启动时,检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时,必须根据故障提示进行处理。
检查真空表是不是出现了问题,爱德华分子泵维修出口是否打开,机械泵油是否太脏,机械泵是否旋转,系统是否漏气。分子泵的叶片或转子也可能损坏。您可以使用自己的工具移动刀片来判断它是否可以旋转。分子泵加速指示灯不亮。电路板上的保险丝被烧毁了。更换保险丝或检查是否有短路。