行星滚柱丝杠与滚珠丝杠的结构相似，区别在于行星滚柱丝杠载荷传递元件为螺纹滚柱，是典型的线接触，而滚珠丝杠载荷传递元件为滚珠，是点接触，主要优势是有众多的接触点来支撑负载。
滚珠丝杠副根据使用范围分为定位型(P)和传动型(T)两种，根据精度要求分为7个精度等级，即1、2、3、4、5、7和10级，1级精度至高，依次递减，P5是国内标准，精度等级是5级，任意300mm行程内行程变动量为0.023mm，这个精度一般表示成P5=0.023，国产丝杆使用多。
滚珠丝杠双螺母副产生间隙通过检测，如果确认故障不是由于丝杠窜动引起的，那就要考虑是否是丝杠螺母副之间产生了间隙，这种情况的检测方法基本与检测丝杠窜动相同，用百分表测量与螺母相连的工作台上，正反向转动丝杠，检测出丝杠与螺母之间的至大间隙，然后进行调整。