单晶硅还原过程氢、氢氯、三氯甲硅料烷和四氯hua硅料四，不回收，将导致资源的浪费和环境污染。绝大多数的单晶硅料生产企业使用闭环法单晶硅料的生产改善，基本上可以满足环境保护的要求，但大型投资面临的问题。
单晶硅四种气态四氯hua硅料盐酸复苏纯化学反应发生在无填料喷雾吸收塔，生成氯hua氢气体，氯hua氢气体在液体真空抽吸泵完成反应生成盐酸，集中的过程要求，集中存储。
为什么需要单晶硅回收再利用呢？受太阳能需求急剧增长的影响，生产硅片的原材料单晶硅价格几年之间上涨了3倍，而预计今后几年单晶硅的供应缺口将维持在5000吨左右，单晶硅价格有望继续上涨。