X荧光光谱仪X 射线是一种电磁波，波长比紫外线还要短，为 0.001‐ 10nm 左右。X 射线照射到 物质上面以后，从物质上主要可以观测到以下三种 X 射线。荧光 X 射线、散射 X 射线、透过 X 射线，ESI英飞思NT 产品使用的是通过对一种荧光 X 射线的测定，从物质中获取元素信息（成分和膜厚）的荧光 X 射线法原理。物质受到 X 射线的照射时，发生元素所固有的 X 射线（固有 X 射线或者特征 X 射线）。荧光 X 射线装置就是通过对该 X 射线的检测而获取元素信息。
X荧光光谱仪(1) 工作曲线法就是利用标准样品先建立一条标准的校正曲线，测试时再根据这个曲线计算测量结果。用已知浓度的几个标准样品测强度,得到一系列相应的强度信号 ,强度和浓度对应形成一系列的点,通过软件拟合成一条标准曲线，测试样品时,仪器测试到一个信号强度,对应这条曲线,可以知道对应的浓度. (2)标准工作曲线法相对 FP 法来说确度较高，但是由于仪器本身存在背景强度，导致低于背景强度的样品出现负值，标准品及强度漂移影响曲线的度、曲线的检出限及曲线上限问题。
X荧光光谱仪(1) 要分清楚关注的对象，荧光分析仪较常见的两类为膜厚仪与元素分析仪，其针对的目标不同。如测厚度一般可以采用薄膜 FP 法或薄膜检量线法,测元素则用块体 FP 法与块体检量线法。