工业液氮深冷分离法又称为低温精馏法，利用空气中氮气与氧气的沸点不一致来分离氧气和氮气。由于氮气的沸点（-196℃） 低于氧气（-183℃），在液态空气的蒸发过程中，液氮比液氧更容易变成气态，而在空气液化过程中，氧气比氮气更容易变成液态。
工业液氮首先被拉瓦锡（Lavoisier）认可为元素，他将其命名为“偶氮”，意思是“无生命”。查普塔尔在1790年将该元素命名为氮。该名称源自希腊语“nitre”（xiao酸盐中含氮的xiao酸盐）。
由于工业液氮与氧气的沸点相差不大，液态空气与气态空气需经过反复多次的蒸发、冷凝、再蒸发过程（该过程称为低温精馏过程），在精留塔顶部气相馏分中就可以过得较高高纯度的氮气，氮气的纯度取决于精馏塔的塔板级数和精馏效率。