FID测量原理采用气相色谱法分析原理（GC-FID），具体的工作原理主要是通过正压进样使待测气体充满定量环后再与大气平衡来定量，六通阀和两个十通阀同时切换，总烃定量环中的样品快速通过总烃柱到达前FID检测器，测定总烃浓度，定量环中的样品通过填充柱分离出到达前FID，测定浓度，苯系物通过预柱和分析柱分离分离苯系物到达后检测器，然后六通阀和十通阀切换至原始位置，利用反吹的方式将仍滞留在填充柱中的非总烃通吹扫至出口，利用反吹的方式将预柱中比苯系物沸点高的物质吹扫至出口，完成检测。通过总烃和含量的差值计算得到非总烃的含量。
FID气体分析仪特点自我保护功能：气源供应不足时，火焰自动熄灭，且关闭氢气和空气流量自动点火功能：开机、气源供应恢复或意外断电恢复后，自动点火支持远程报警、远程诊断功能采用EPC技术进行载气压力控制，控压稳定，控压精度优于0.05kPa。采用EFC技术进行氢气和空气流量控制，控流精度优于0.5%F.S柱箱控制精度优于0.1℃。
FID测量项目污染物浓度、温度、压力、流速、湿度、含氧量。测量方法烟气采样方法：完全抽取+高温法有机物测量方法：气相色谱法温度测量方法：温度传感器压力测量方法：压力传感器流速测量方法：差压法（皮托管）或者热式流量计湿度含氧量测量方法：干湿氧法VOC-CEMS系统预处理装置采用直接抽取、全程高温伴热技术，将样品（废气）通过采样、保温伴热、除尘、稳压、温流之后直接送入气相色谱分析仪中进行检测分析。