一般来说，处理困难气体的催化剂是二氧化钛的高科技材料，光氧催化设备催化处理效果好，各种有害物质处理效果好。其设备还具有无需添加任何物质、适应性强、运行成本低、无预处理等优点。
光氧催化设备所有需连接部分用抗高温，防腐蚀电线和橡胶垫进行密封处理，设备的电路部分设置多重过压、过流、短路保护，保证电器部件即使发生瞬间漏电短路情况，也不会引起燃烧。
传统的光氧催化设备废气处理主要是催化、燃烧、垃圾填埋场处理，但这种处理会对环境造成二次污染，特别是燃烧需要加热处理，可以得到理想的废气处理，如果废气中有机浓度高，废气燃烧可以保持有机物分解所需的反应温度，燃烧法是一种经济可行的方法。