Edwards二手分子泵维修有哪些是需要注意的？拜托了帮个忙

Edwards二手分子泵不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵

Edwards二手分子泵每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏。

当Edwards二手分子泵未启动时，检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时，必须根据故障提示进行处理。