制冷式光谱仪的优点在于测量系统的模块化和灵活性。光纤光谱仪的测量速度非常快,可用于在线分析。此外,由于使用了低成本的通用探测器,降低了光谱仪的成本,降低了整个测量系统的成本。
制冷式光谱仪可以测量物体的薄膜厚度,可以测量的膜层厚度10nm-50μm,分辨率为1nm。除此之外还会被应用在金属和玻璃材料基底上光学膜层厚度的测量。
制冷式光谱仪通常采用光纤作为信号耦合器件,将被测光耦合到光谱仪中进行光谱分析。