Edwards真空分子泵维修故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置,此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常,可能是分子泵电源故障。请联系制造商。
Edwards真空分子泵排气过滤器/排气管路堵塞。对策:更换排气过滤器并检查看是否需要清洗排气管路,一般每月检查排气过滤器,每年要更换一次。
Edwards真空分子泵油温低于12℃(54℉)。对策:把泵和泵油加热到需要的温度值以上或使用适用于此台真空泵牌号的真空泵油。