当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。 在再次打开爱德华分子泵控制器之前，请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。
打开爱德华分子泵控制器之前，必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀。
爱德华分子泵控制器不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵
