真空泵维修、抽不到真空泵的极限真空度：首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。其次应打开气镇，让泵运行30分钟左右,来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽，排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。
长时间使用引起真空泵的旋片磨损或转子内的弹簧张力不足,，导致吸气室和排气室隔离不严，从而引起真空泵的抽真空性能下降，这时应当更换旋片和弹簧，并清洗转子和泵腔；检查排气阀门，观看其动作是否失灵，导致排气不畅，必要时应更换排气阀门。
假如真空泵有吸进杂质、粉尘、水份 、化合物等潜在性风险，应当在真空泵进风 口 部位改装反渗透 设备，假如杂质、粉尘、水份、化合物过多，务必改装存储罐展开过滤，以避免粉尘及其水份化合物等杂质进到真空泵里。