Edwards二手分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上,以防止松弛引起的空气泄漏
当出现警告信息“ EF”时,检查冷却水通道是否畅通,并用机q进行检查。 在再次打开Edwards二手分子泵之前,请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时,严禁再次启动分子泵进行后处理。
当Edwards二手分子泵M2(方框2)或M7的真空度始终没有到位时,请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。