真空隔膜阀是一种特殊形式的截断阀，出现于20世纪20年代，它的启闭件是一块用软质材料制成的隔膜，把阀体内腔与阀盖内腔及驱动部件隔开，故称隔膜阀。
复合式衬氟隔膜阀将阀体下部内腔与阀盖内腔隔开，并与之形成直流通道，使隔膜上部的阀杆、阀瓣等内件与介质完全隔离，省去填料密封结构，介质的内漏和外漏可同时避免。真空隔膜阀
气动金属隔膜阀结构紧凑，内表面抛光可做到0.25μm电抛光，介质与执行机构完全分离，流向可选，安装位置可选，可用于CIP/SIP清洁消毒，弹簧腔内的多余气体通过阀门附件可安全排放。真空隔膜阀