当爱德华分子泵维修M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。
打开爱德华分子泵维修之前，必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀。
当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。 在再次打开爱德华分子泵维修之前，请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。
