当Edwards进口分子泵未启动时,检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时,必须根据故障提示进行处理。
当Edwards进口分子泵M2(方框2)或M7的真空度始终没有到位时,请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。
当Edwards进口分子泵出现故障无法使用时,应暂停生产,并在手动充满空气后更换备用分子泵。