真空值是高分辨率光谱仪一个重要的参数，如果真空值下降过快就证明仪器出现了故障。操作人员可以通过看真空值曲线是否平缓，不平缓的话，就是漏气的地方。可以通过检查真空室真空盖密封性，更换密封圈来解决故障。
新高分辨率光谱仪电脑出现死机，程序错误、黑屏、分析软件的START状态不对有时变为黄色不动，有时虽然动但是变为红色， 处理办法：此为通讯线接触不良，重新连接即可。
如果高分辨率光谱仪故障原因不是硬件问题，可通过调整、重新设置光谱仪参数等技术操作解决的，可自行处理。
