纯度是高纯氦气的一个重要技术参数，按氮气的纯度分为工业用氮气、纯氮和高纯氮三级，它们的纯度分别为99．5％（O2≤0．5％），99．99％（O2≤0．01％）和99．999％（O2≤0．001％）。纯氮N2≥99.99化工、治金、电子工业高纯氮N2≥99.999科研、电子、机械行业、色谱仪载气所以用于制冷剂的话，没什么区别。
高纯甲烷：甲烷纯度99.999%,氧（氩）含量1ppm,氮含量5ppm,其他总碳含量1ppm,水分含量1ppm。 纯甲烷：符合标准HG/T 3633-1999，甲烷纯度99.99%,,氧（氩）含量10ppm,氮含量35ppm,氢含量10ppm,水分含量15ppm。纯甲烷：符合标准HG/T 3633-1999，甲烷纯度99.9%,,氧（氩）含量50ppm,氮含量250ppm,氢含量50ppm,水分含量50ppm。高纯氦气
氮气(N2)：相对分子质量较大、扩散系数小、柱效相对较高、安全、价格便宜，因此，这4种气体中常用的载气，在氢火焰离子化检测器中常用，但由于其热导系数低、灵敏度差、定量线性范围较窄，因此在热导检测器中少用。高纯氦气