真空泵漏油、喷油转轴、油窗、放油孔、油箱等部位的密封圈损坏或装配不正确。解决方案：仔细检查并更换玻损的密封圈，装配螺时，用力要均匀。
真空泵运转中摩擦发热。温升太高，使真空泵油变稀，密封性变差。解决方案：通冷却水或用电风扇降温，同时，检查有关部件配合间隙并按规定精度要求进行修理或更换。
维护真空泵时，需要及时更换真空泵油。真空泵油的使用寿命取决于工作环境。在清洁干燥的气体和工作温度低于100的工作环境下，需要每500-2000个工作小时或每6个月更换一次机油。
