Edwards进口分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体,如M5的顶丝等,请问是否对分子泵的使用有影响?应如何解决? 原因:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。 解决方式:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。
Edwards进口分子泵为何会发生半边热,半边冷的现象? 原因:附近有光照或其他热源 解决方法:避免光照或热源
真空度很好的情况下,Edwards进口分子泵油为何会返到前级管道? 原因:油池裂开或密封不良 解决方法:检查油池