真空泵在运行中温度过高原因及处理措施冷却泵所需的风受阻——正确的安装真空泵（电机后部应留足够的空间）泵工作的环境温度太高——降低环境温度、zui高允许环境温度为40℃所抽气体的温度太高——改变工艺油位太低——加油油不合适——换油真空泵油的循环受阻——清洗或维修进油嘴排气过滤器或排气管道被堵塞——更换过滤芯、清洗排气管道排气阀故障——维修排气阀泵腔被磨损——更换泵腔部件
真空泵的抽速太慢原因及处理措施进气口或进气管道被堵塞——清洗进气管道（在进气口前安装一个杂物过滤器，可预防此类故障）排气过滤器被堵塞——更换过滤器连接的真空管直径太小或管道太长——使用直径足够大的管道或短的连接管道
真空泵达不到极限压强原因及处理措施测量方式或规管不合适——使用正确的测量方法及规管/在泵的进气口处直接测量真空度防返油阀失效——维修防返油阀排气阀故障——维修排气阀真空泵油不合适——换油（必要时对油脱气）进气口被污染——清洗抽气管道泵的抽速太小——确认系统参数，必要时换泵