ULVAC真空泵日常维护及保养方法一般分为两种，定期的常规保养及使用时的保养方法
要经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。确保以ULVAC真空泵运转时，油位到油标中心为准。
当ULVAC真空泵重新装配后应进行试运行，一般须空运转2小时并换油二次，因清洗时在真空泵中会留有一定量易挥发物，待运转正常后，再投入正常工作
