碳化硅石墨坩埚以天然鳞片石墨为主体原料,以可塑性耐火粘土或炭质为粘结剂加工而成,具有耐高温、导热性能强、抗腐蚀性能好,使用寿命长等特点。
碳化硅石墨坩埚的制造工艺可分为手塑成型、旋塑成型和压塑成型三种。坩埚质量的优劣与工艺成型方法有重要关系。成型方法决定坩埚坯体的结构、密度、气孔率和机械强度。
多种类型的碳化硅石墨坩埚,因为特性、主要用途和应用标准不一样,常用的原材料、生产制造方式、生产工艺和商品规格型号也都有所区别。