造成高真空分子泵真空不足的原因很多，主要有叶片磨损、缸体磨损以及密封性能降低。同时吸入气体温度太高也会造成真空不足，因此在工艺温度很高的情况下需加装冷却装置来冷却吸入气体。平时真空泵油的选用也会造成真空不足的现象发生，比如油品不好，造成乳化导致叶片不能进行正常做离心运动而导致真空度下降。
高真空分子泵噪音大是很多用户经常碰到的问题点，这主要是由于泵浦内部发生碰撞发生的，比如叶片与缸体碰撞，轴承位变形导致轴芯晃动，以及内部螺丝松动都会造成噪音大的问题。
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