检查真空表是不是出现了问题，Edwards真空分子泵维修出口是否打开，机械泵油是否太脏，机械泵是否旋转，系统是否漏气。分子泵的叶片或转子也可能损坏。您可以使用自己的工具移动刀片来判断它是否可以旋转。分子泵加速指示灯不亮。电路板上的保险丝被烧毁了。更换保险丝或检查是否有短路。
当Edwards真空分子泵维修出现故障无法使用时，应暂停生产，并在手动充满空气后更换备用分子泵。
Edwards真空分子泵维修的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏
