当爱德华分子泵维修未启动时,检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时,必须根据故障提示进行处理。
爱德华分子泵维修每次停机后,必须清洗每个分子泵的入口,以保持其清洁,以避免不必要的损坏。
当爱德华分子泵维修M2(方框2)或M7的真空度始终没有到位时,请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。