正常使用下，为什么Edwards进口分子泵油池会出现裂纹或者变形 原因：过热，负载大 解决措施：检查冷却系，检查系统
Edwards进口分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？ 原因：负载太大，系统真空度不够 解决方法：检查系统
Edwards进口分子泵的变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱？ ①电压不稳②强干扰③高压打火
