涡轮分子泵的工作原理基于分子流动。转子高速旋转时,气体分子被转子叶片捕获并带到泵的排气侧,通过连续的分子流动将气体分子从真空室中抽出。由于分子流动的速度远远高于常规气体流动,涡轮分子泵可以实现高抽气速度,从而快速降低真空室内的气体密度和压力。
定期检查涡轮分子泵有助于提早发现问题并采取适当的维护措施,以防止更严重的故障发生。
定期维护和保养:按照制造商的建议进行定期维护和保养,如更换磨损的部件、润滑轴承、清洁内部等。定期维护可以延长涡轮分子泵的使用寿命和性能。