当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。 在再次打开爱德华分子泵控制器之前，请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。
爱德华分子泵控制器每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏。
爱德华分子泵控制器不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵
