检查真空表是不是出现了问题,Edwards真空分子泵维修出口是否打开,机械泵油是否太脏,机械泵是否旋转,系统是否漏气。分子泵的叶片或转子也可能损坏。您可以使用自己的工具移动刀片来判断它是否可以旋转。分子泵加速指示灯不亮。电路板上的保险丝被烧毁了。更换保险丝或检查是否有短路。
Edwards真空分子泵维修的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上,以防止松弛引起的空气泄漏
Edwards真空分子泵维修每次停机后,必须清洗每个分子泵的入口,以保持其清洁,以避免不必要的损坏。