真空度很好的情况下，Edwards真空分子泵油为何会返到前级管道？ 原因：油池裂开或密封不良 解决方法：检查油池
正常使用下，为什么Edwards真空分子泵油池会出现裂纹或者变形 原因：过热，负载大 解决措施：检查冷却系，检查系统
Edwards真空分子泵的变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱？ ①电压不稳②强干扰③高压打火
