一般情况下，pfeiffer普发分子泵工作2000小时后需要进行检修，检查橡胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，并清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。用qi油清洗整个真空泵腔内的转子、旋片、弹簧等，并烘干，橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时一定要轻拿轻放小心碰伤。
假如pfeiffer普发分子泵有吸进杂质、粉尘、水份、化合物等潜在性风险，应当在真空泵进风口部位改装反渗透设备，假如杂质、粉尘、水份过多，务必改装存钱罐开展过虑，以避免 粉尘及其水份化合物等杂质进到真空泵。
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