真空泵的种类大致分成机械泵、扩散泵、分子泵、离子泵、涡流泵等。对于每个操作阶段,有各自不同的适用条件和实际操作方法。
开动电机,当真空泵正常运转后,打开出口压力表和进口真空泵,视其显示出适当压力后逐渐打开闸阀,同时检查电机负荷情况。
根据使用经验及统计资料,规定出相应的维修程序,每隔一定时间就进行一次维惨,对设备中某些零部件进行吏换或修复,以防止整机发生大面积功能性故障。