涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。
涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子(即动叶轮)、静叶轮和驱动系统等组成。
涡轮分子泵具有如下优点:(1)它可连续排气;(2)易获得清洁的超高真空;(3)对一般气体,抽速几乎相同;(4)操作与维护简单,维修周期长;(5)启动和停车时间短;(6)振动与噪音低。