真空度很好的情况下，爱德华分子泵控制器油为何会返到前级管道？ 原因：油池裂开或密封不良 解决方法：检查油池
正常使用下，为什么爱德华分子泵控制器油池会出现裂纹或者变形 原因：过热，负载大 解决措施：检查冷却系，检查系统
爱德华分子泵控制器轴承为什么会烧毁 原因：①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘 解决方法：①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘
