维修Edwards进口分子泵时需要注意什么？ 知道的请回答

当Edwards进口分子泵未启动时，检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时，必须根据故障提示进行处理。

Edwards进口分子泵不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵

当Edwards进口分子泵出现故障无法使用时，应暂停生产，并在手动充满空气后更换备用分子泵。