打开爱德华分子泵维修之前，必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀。
当爱德华分子泵维修M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。
爱德华分子泵维修每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏。
