Edwards真空分子泵每次停机后,必须清洗每个分子泵的入口,以保持其清洁,以避免不必要的损坏。
当Edwards真空分子泵M2(方框2)或M7的真空度始终没有到位时,请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。
Edwards真空分子泵故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置,此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常,可能是分子泵电源故障。请联系制造商。