光谱仪(1) 每个元素的特征X荧光有不同的波长和能量，波长色散和能量色散就是利用它的波长和能量的不同来检测。波长色散利用晶体分光，把不同波长的特征X射线分开，根据Bragg公式和Moseley定律做元素的定性分析；根据元素含量越高，射线的强度就越强，通过一定的方法来校准和校正，进行定量分析。能量色散不用晶体分光，直接用半导体检测器检测样品的特征X射线的能量，进行定性和定量分析(2) 有能量、波长、全反射、同步辐射、X射线微荧光、质子激发X射线荧光。
光谱仪用标样来校正，通过一定的方法来校准和校正，进行定量分析。
光谱仪光管产生的99%以上的能量是转换成了热能，大量的热能必需要用循环流动的水来带走，还不能用一般的水，必须是高纯度的去离子水，要不一导电，光管就可能报废了，离子交换树脂就是去离子的，比如我们刚换了循环水的时候看见电导率挺高的，运行一阵就降下来了，这就是离子交换树脂起的作用。