打开爱德华分子泵维修之前,必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后,必须关闭冷却水阀。
当爱德华分子泵维修未启动时,检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时,必须根据故障提示进行处理。
爱德华分子泵维修的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上,以防止松弛引起的空气泄漏