碳化硅石墨坩埚以天然鳞片石墨为主体原料，以可塑性耐火粘土或炭质为粘结剂加工而成，具有耐高温、导热性能强、抗腐蚀性能好，使用寿命长等特点
现在使用碳化硅石墨坩埚很多用户都不是很规范，这样也会使得事倍功半，并且碳化硅石墨坩埚具有耐高温，高熔点等特性，所以都很常用的，那么处了在使用过程中需要注意事项外，在使用前也要先做准备工作的首先需要在工作前检查碳化硅石墨坩埚是否有裂痕，无裂痕需把碳化硅石墨坩埚加热到600C以上充分干燥。
碳化硅石墨坩埚的养护方法：有些部分发生损坏但是没有到更换期限的碳化硅石墨坩埚可以更换也可以凑合用，进行密封保存的{精}再次使用时，建议大家使用在提纯的炉子上。在每次拆炉时，要清理氧化物，并把石墨件上的渗硅清理干净，一些保温盖等部件要擦拭干净，避免一些杂物污染原料。