分子泵的抽气机理与真空泵靠泵腔容量转变开展抽真空的原理不一样，运用了角动量传送基本原理，使分子结构定项流动性而被排出来泵外，进而做到抽真空的目地
可由密封件老化，安装不当，损坏失效，表面不平整、有杂质、粗糙和铸件疏松等引起。如果阿尔卡特真空泵停泵后返油，油会进入气镇阀，不关气镇阀可能会漏油。自制橡胶垫时，一定要用耐油橡胶，要按照原设计形状，密封面太大时压不紧会漏油。
异常噪音，如果噪音变大或不典型，这是一个明显的迹象，表明阿尔卡特真空泵可能有问题。需要更换磨损部件，例如密封件、O 型圈、旋转叶片，甚至电机轴承或电机本身。泵还需要全程维护和清洁。