普发进口涡轮分子泵维修、抽不到真空泵的极限真空度：首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。其次应打开气镇，让泵运行30分钟左右,来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽，排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。
油已经积碳，堵塞了油路，普发进口涡轮分子泵油无法起到很好的润滑作用，造成泵体温度过高，真空泵的使用不当，所以平时应注意真空泵油的正确使用。真空泵油在泵体内担负着润滑、密封、和冷却的作用。
普发进口涡轮分子泵不能启动：主要表现为真空泵加电后不能启动运转。这时应首先检查真空泵的电路部分，如保险管是否烧毁、电路部分有没有元气件烧坏。