超高纯氮可以用于电子工业:电子工业中的外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻等
在化工行业,超高纯氮主要用作保护气体、置换气体、洗涤气体、安全保障气体。用作铝制品、铝型材加工,铝薄轧制等保护气体。
其实这个我也不知道,你还是去网上看看吧,超高纯氮现在网上的信息还是很多的。具体的你可以去网上看看。希望可以帮助到楼主。